超純水設備的應用為硅晶圓生產送去高品質超純水

時間：2023-09-22

　　硅晶圓是一種半導體材料，在經過照相制版，研磨，拋光，切片等一系列工序，將多晶硅融解拉出單晶硅晶棒，然后切割成一片一片薄薄的晶圓。這種硅晶圓在人工智能、物聯網和生物醫(yī)學等領域都是多有應用。近年來，我國越來越重視硅晶圓的生產，帶動了其上下游產業(yè)的發(fā)展，超純水設備的應用也在其列。

　　硅晶圓生產與超純水設備是什么關系?在硅晶圓研磨，拋光，切片這些工序中少不了其身影，超純水設備主要是為期送去高品質清洗超純水，方便其清洗表面的金屬物質。那么這樣的超純水設備是如何制出高品質超純水的？

超純水設備

　　該設備采用預處理+反滲透+EDI+拋光混床的組合形式來制備超純水。該設備具有高效低能、運行成本低，水資源利用率高、體積較小、維修量小，運行的時間長等優(yōu)點。設備中應用的EDI模塊在運行過程中不需要添加任何化學品，不僅減少了化學品運輸問題，同時降低了系統(tǒng)運行費用。EDI模塊不會產生酸堿廢液，因此不需要酸堿中和處理。EDI進水為二級反滲透產水，水質較好。即使經EDI系統(tǒng)脫鹽后，EDI濃水水質仍優(yōu)于一級反滲透產水，可回流至一級反滲透產水箱。可連續(xù)工作，無需更換樹脂。

　　并且該超純水設備滿足了各種工業(yè)用水的不同需求，應用范圍非常廣泛，可適用于電子、半導體、線路板、集成電路、機密機械的生產和清洗，還可以應用在食品飲料行業(yè)中和飲用水的制取。設備能夠連續(xù)穩(wěn)定的制備品質優(yōu)良的超純水，其占地非常小，可以為企業(yè)節(jié)省很多空間，在符合硅晶圓生產用水水質標準的同時可以使水資源的利用率達到95%~99%，有效提升了水資源利用率。

　　隨著半導體行業(yè)不斷的發(fā)展，我國對于硅晶圓需求只多不少，側面帶動了超純水設備的市場需求，未來發(fā)展形勢也是一片大好!

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　　編輯：柒柒技術：米

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